碳化钨料钵射频溅射工艺
发布时间：2021-01-05 11:05:21
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射频是指无线电波发射范围的频率，为了避免干扰电台工作，溅射专用频率规定为13.56MHz，在射频电源交变电场作用下，气体中的电子随之发射振动，并使气体电离为等离子体。
射频溅射的工作原理：射频溅射的两个电极，接在交变的射频电源上，似乎没有阴极与阳极之分，实际上射频溅射装置的两个电极不是对称的，放置基片的电极与机壳相连，并且接地，这个电极相对安装靶材的电极而言，是一个大面积的电极，它的电位与等离子相近，几乎不受离子轰击，另一个电极对于等离子体处于负电位，是阴极，受到离子轰击，用于装置靶材。
其缺点是大功率的射频电源不仅价格高，对于人身体防护也称问题，因此射频溅射不适于工业生产应用。
